四点探针

Four Point Probes

333AC/AF 300mm片盒到片盒型设备

特点：

片盒到片盒333A型
8”(选项)和12”硅片能力
紧凑地片盒到片盒设备
开发式片盒：333AC型
FOUP适用型333AF
自动画图软件包
可用通讯接口SECS-II
去边缺陷功能以及自动硅片定位能力
自动转换探针头能力

汞探针

CVmap3093BC型片盒到片盒汞探针CV-IV绘图设备

特点：

兼容150mm,200mm以及300mm
自动硅片定位功能
紧凑地
多腔室配置能力
省去机械手的设备设计

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