成立于1974年的硅片传输工具领导厂商
A World Leader in Wafer Handling Since 1974
可用于100mm,125mm,150mm,200mm硅片
- 符合人体工程学的硅片传送系统
- MGI 分拣系列产品
- 可用于太阳能电池生产线的Sorona系列
- MGI 电子式硅片ID读取器
- 硅片封装工具
设备特点:
- 仅机头移动
- 错槽侦测
- 拣取及放置
- 固定器
- 离子脉冲装置
- 根据硅片所放位置选择操作
- 设备小抽屉
- 保持硅片图形/li>
- (硅片)平边定位
- 电子式定位
- 光电耦合器
- 完全电子化
- 全新设计的(凹)口定位
- 可以按客户需求定制
- 系统性能:(硅片成品率)
近期对10台MGI倒片机上250,000片硅片的运行状况统计指出,平均在大于0.3um的尺寸上才产生杂质。这表明设备的正常运行时间可以保证在99.4%,从而确保了硅片产量。