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生产线

TYTAN高温及低压炉管和低压化学气相沈积
光化学CVD（化学气相沈积）反应堆PVD（物理气相沈积）1000
光纤预先形成CVD反应堆
光掩膜 & 晶圆清洗系统
大流量口径测量器 CALSTAR400
电子工艺控制器
专用CVD装置
翻新、维修以及维护

TYTAN炉具有以下优良性能：

小轨迹节约了高达40％的清洗室空间
较好的一致性
大于95％的正常运转时间使得系统吞吐量出众
最大可处理12"/300mm晶圆
与其他同类产品相比，节约了超过50％的能量资源

TYTAN炉管具有多种大小型号和配置

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