Tystar
生产线
- TYTAN高温及低压炉管和低压化学气相沈积
- 光化学CVD(化学气相沈积)反应堆PVD(物理气相沈积)1000
- 光纤预先形成CVD反应堆
- 光掩膜 & 晶圆清洗系统
- 大流量口径测量器 CALSTAR400
- 电子工艺控制器
- 专用CVD装置
- 翻新、维修以及维护
TYTAN炉具有以下优良性能:
- 小轨迹节约了高达40%的清洗室空间
- 较好的一致性
- 大于95%的正常运转时间使得系统吞吐量出众
- 最大可处理12"/300mm晶圆
- 与其他同类产品相比,节约了超过50%的能量资源
TYTAN炉管具有多种大小型号和配置