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MKS Instruments

MKS Instruments, Inc. 在气体、真空仪器应用方面一直居于全球技术领先的地位。 相关的产品应用于尖端的材料科学或制程技术的改善，从精密的半导体工业，光电产业到工业用工具的表面镀膜, 食品及制药工业等范围，这些制造过程都涉及到在控制的环境内使分子气相及固相发生适当的反应，以便在材料上形成不同的材质或薄膜。

藉由 MKS 的各种相关产品以管理, 监测及控制气体，压力等条件, 提供制造过程所需的环境，同时 MKS 也提供制造过程所需的各种等离子体发生器 , 例如： 微波发生器, 臭氧发生器, 射頻/直流电源发生器， 等相关元器件以达到制程控制所需。

MKS 拥有完整的技术及产品资源，不论是产品的研发设计、客户的支持服务，都能快速满足客户的各种特殊需求。